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设备主要技术指标：

1. 用途：主要用于8寸晶圆高温干氧湿氧、退火工艺。

2. 工作温度范围：700-1250 ℃

3. 恒温区长度： ＞600mm  满足25片 石英舟

4. 工作温度和精度： 700-1250 ℃ ± 1 ℃

5. 气路系统：三路气体系统，采用进口MKS质量流量计、气动阀、等进口部件

6.气路安全性： 单向阀、过滤器配置齐全

7. 温度控制系统：PLC+触摸屏可编程控制方式，自动加手动可方便切换，温控系统采用进口温控仪，温度、流按工艺自动调节

8. 报警及保护： 气体流量偏差报警、温度偏差报警、极限超温报警、断偶保护