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硅材料扩散炉

上架时间:2024-11-12
浏览次数:2459
产品类型:专业用于半导体6寸及以下硅片的高温扩散工艺
产品颜色:
产品价格:¥
产品详情

1.1、工作温度:400-1300℃

1.2、恒温区长度及精度: 300mm  /±0.5℃(可选)

1.3、炉管数:一、二、三、四管(可选)

1.4、适应硅片尺寸: 6寸及向下兼容

1.5、送取片方式:自动或手动(可选)


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