实验型扩散炉主要适用于科研单位、高等院校、研究机构及企业。供大规模集成电路、MEMS生产线用做6硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺，完成4寸wafer的相应工艺。